ICP光谱仪是一种根据激发下的元素原子返回到基态时发出的特征谱线来分析元素的方法，主要用于无机元素的定性和定量分析。主要用于微量元素分析, 可以分析大多数金属和硅、磷、硫等少量非金属, 共有72种元素。水质监测领域的质量控制要素分析, 特别是环境保护分析, 在超微量元素检测中得到了广泛的应用。 还可以检测到某些元素, 例如在测量组件时确定主要部件的组件。

　　ICP 光谱仪的三个主要部分是:一是激光光谱光源。二是光谱仪系统, 它将不同波长的光集中在仪器中的特定位置。第三是使用放置在焦点上的探测器来测量光线的强度。新的光谱仪使用微型计算机来处理实验结果。这是一种将复杂光线分解成光谱线的科学仪器。它密封在温度稳定的恒温器底盘, 紧凑的设计, 易于操作, 操作和操作的设备, 只要一个人可以完成。品用量少, 覆盖面广, 速度快, 灵敏度和选择性好。

　　ICP 光谱仪由以下主要部分组成:

      1、入射裂隙: 在入射光照射下形成光谱仪成像系统的点。

      2、准直元件: 由缝隙照射的光, 使其成为平行光。准直元件, 一个独立的透镜, 反射器, 或可能是一个凹面晶格, 直接集成在色散元件, 如凹面光栅光谱仪。

　　3、色散元件: 通常使用晶格, 空间中的光信号通过波长色散成为多个光束。

　　4、聚焦元件: 聚焦光束的色散, 使其在焦平面上形成一系列入射裂隙图像, 每个图像对应于特定的波长。放置在焦平面上, 用于测量每个波长图像点的光强。探测器阵列可以是 CCD 阵列或其他类型的光电探测器阵列。